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    Station de mesure sans contact



    Station de topographie de surface sans contact

    Principe de fonctionnement

    Le système de mesure interférométrique Optosurf fonctionne sur le principe de l’interféromètre de Michelson (interférences obtenues entre un miroir de référence et la surface de l’échantillon).

    L’échantillon est éclairé par une source blanche filtrée. Une partie du faisceau lumineux (50%) est envoyé sur une surface de référence grâce à une lame séparatrice. L’autre partie du faisceau éclaire la surface de l’échantillon. Les faisceaux réfléchis sur l’échantillon d’une part et sur la surface de référence d’autre part se combinent sur la surface séparatrice et interférent.

    Les écarts de hauteur entre l’échantillon et la référence produisent une figure d’interférence traduisant la surface de l’échantillon.

    Ces écarts de hauteur sont enregistrés et traités informatiquement de manière à reconstituer l’intégralité de la surface mesurée, de l’ordre de quelques centaines de µm2.

    Il est possible de caractériser l’état de la surface, de calculer des paramètres de rugosité, de mesurer des distances et des hauteurs, de représenter la surface en 2D et 3D.
    Ce système est particulièrement adapté pour la caractérisation des surfaces super polies.

    Appareillage : Station OPTOSURF

    Microtopographie et rugosité de surface sans contact

    Principe de fonctionnement

    Un faisceau lumineux, issu d’une lampe halogène (lumière blanche, poly chromatique), passe par une fibre optique jusqu’à une sonde passive. Cette sonde passive possède une lentille à forte aberration chromatique. Le rôle de cette lentille est de décomposer le faisceau lumineux en longueurs d’ondes monochromatiques sur une certaine distance que l’on appelle gamme de mesure : 300 microns ou 3 millimètres (cf. schéma ci-dessous, 300 µm). En fonction du relief de la surface analysée, certaines longueurs d’ondes monochromatiques vont être réfléchies. Ces dernières vont être interprétées en termes d’altitude.

    Traitement de la surface

    Les données acquises font l’objet d’un traitement informatique permettant de :

    - Caractériser les états de surface
    - Calculer des paramètres de rugosité normalisés 2D et 3D
    - Mesurer de distances, hauteurs, angles, épaisseurs
    - Mesurer de volumes (creux ou de pics)
    - Représenter la surface en 2D et 3D suivant divers modes

    Applications : Caractérisation d’états de surface sur tout type de support, tribologie, analyse de revêtements, propagation défaut (ex : de fissures, rayures, …), planéité de surface, contrôle production, …

    Appareillage : Station ALTISURF 500

    Caractéristiques techniques :

    - Vitesse maximale d’acquisition : 10 mm.s-1
    - Sondes : 300 µm (résolution 0,01 µm) et 3 mm (résolution 0,1 µm)
    - Précision de table : inférieure à 0,1 µm / 50 mm
    - Mesure jusqu’à 43° d’angle


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